確定SICK傳感器的真假要靠哪些能分解?
現(xiàn)有的SICK傳感器都是基于一種彈性材料的形變,而彈性材料不論其多么優(yōu)良,在每次彈性恢復(fù)后,總會(huì)產(chǎn)生一定彈性疲勞。由于彈性材料引起的漂移根據(jù)材質(zhì)不同各不相同,但是合格的產(chǎn)品,都在規(guī)定的范圍之內(nèi)。
此外,一種材料對(duì)壓力敏感的同時(shí)對(duì)溫度也敏感,任何材料都有其固有的溫度特性,由此引起的的SICK傳感器的輸出變化叫做溫度漂移。通常SICK傳感器都要進(jìn)行溫度補(bǔ)償,利用另一種溫度特性相反的材料抵消溫度引起的變化,或者使用數(shù)字信號(hào)補(bǔ)償技術(shù)。
玻璃微融技術(shù)是擴(kuò)散硅SICK傳感器發(fā)展的初期的一種粘接工藝,其本質(zhì)上是一種擴(kuò)散硅壓力傳感器,就是擴(kuò)散硅芯片和金屬基座之間用玻璃粉封接,與傳統(tǒng)的應(yīng)變片工藝類(lèi)似,壓力芯片的周?chē)嬖谥^大的應(yīng)力,即使經(jīng)過(guò)退火處理,應(yīng)力也不能完全消除,同應(yīng)變片粘貼工藝一樣,玻璃也存在“蠕變”。當(dāng)溫度發(fā)生變化時(shí),由于金屬、玻璃和擴(kuò)散硅芯片熱澎脹系數(shù)的不同,會(huì)產(chǎn)生熱應(yīng)力,使SICK傳感器的零點(diǎn)發(fā)生漂移。這就是為什么玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)熱漂移非常大的重要原因。同時(shí)由于蠕變的存在,此種壓力傳感器的常溫零點(diǎn)也存在嚴(yán)重的時(shí)漂問(wèn)答題。
在SICK傳感器的引線工藝方面,由于采用銀漿和接線柱焊接,容易造成接點(diǎn)電阻不穩(wěn)定。特別是在溫度發(fā)生變化時(shí),接觸電阻更易變化,這些因素是造成傳感器零點(diǎn)時(shí)漂、溫漂大的原因。
要消除SICK傳感器的漂移問(wèn)題我們可以金硅共熔焊接方法,將擴(kuò)散硅和基座之間采用金硅共熔封接,因?yàn)榻鸨容^軟應(yīng)力小,引壓管是玻璃管將之燒結(jié)到硅環(huán)上,玻璃管和底座用*溫膠粘接,為測(cè)表壓,在玻璃管外粘接一金屬管,通到大氣中。擴(kuò)散硅電阻條組成惠斯登電橋,用*摻雜的方法形成導(dǎo)電,將電橋和分布在周邊的鋁電極可靠地連接起來(lái),而不采用通常蒸鋁,反刻形成鋁帶的方法,這樣做有助于減小傳感器的滯后,鋁電極和接線柱之間用金絲壓焊和超聲焊,使接點(diǎn)處的電阻比較穩(wěn)定。
通過(guò)一定的材料改進(jìn)和工藝改進(jìn),在一定范圍內(nèi)可以改善玻璃微融壓力傳感器的零點(diǎn)漂移和溫度漂移,但是從目前市場(chǎng)應(yīng)用的反饋情況來(lái)看,玻璃微融壓力傳感器的穩(wěn)定性還有很大改善的空間。